PVD镀膜超声波清洗机采用最新流行环保水基清洗工艺，该设计先进、合理,充分考虑了环保和节能的要求；并采用全封闭式结构，运行部件设计充分考虑防止污染，清洗机框架和烘干炉内均采用正压送风形式，保持运行时的风流始终外溢;同时，清洗区域与维护区域隔离开，确保润滑油脂及运动磨损不会对清洗的产品产生二次污染，通过以上措施能有效保证工作室长期处于洁净状态，从而保证产品的洁净要求；精巧的等工位移载结构能最大限度地减少辅助运行时间，保正工艺参数实施的准确性，本清洗机非常适合于LCD、TFT等基片的清洗和干燥，完全能适合千级以上的环境下使用。

PVD镀膜超声波清洗机将工件放入料框内专用固定夹内，由人工将料框放上入料口，等工位机械手自动将料框送入清洗机本体，上下提升机构依照PLC指定的程序将料框搬送到相应高度位置；完成对工件的清洗、喷淋、漂洗、慢提拉脱水和热风干燥后、送至清洗机出口，运送到卸料台出料。等工位机械手由气缸横向驱动，直线滑轨导向；上下提升由马达驱动，直线导轴导向；慢提拉提升机构由变频马达驱动，直线滑块导向；上下料由上下提升机构独立完成；PVD镀膜超声波清洗机采用触摸屏操作系统，有手动和自动切换开关及有关操作按钮，能对整个运行过程实行控制。

PVD镀膜超声波清洗机清洗流程：

超声波溶剂清洗→超声波溶剂清洗→滴空槽→超声波水溶剂清洗→超声波水溶剂清洗→纯水喷淋漂洗→超声波热纯水漂洗→超声波热纯水漂洗→超声热纯水漂洗→热纯水慢拉脱水→热风烘干

PVD镀膜超声波清洗机槽体采用2mm厚#316进口不锈钢板，进水管采用#316不锈钢管材 

超声波：超声功率：1.2或1.5KW,频率：40-60KHz,方便拆卸便于清洗。

超声波控制箱采用功率无级可调,设有功率输出显示功能。 

PVD镀膜超声波清洗机配有加热系统:数字式温度控制器,显示温度与实际温度差在±5℃，要求30分钟内各槽达到设定温度，其中1、2、4、5、6、11槽必须配备储液槽，带温控控制并有液位保护；其它各槽是否配备储液槽由设备厂家根据工艺技术要求自行决定。

机械式抛动装置：上下抛动每分钟18次,抛动行程为40-50mm，抛动装置需有防止产尘的措施。 

槽底成漏斗状排水完全，排水口接往总排水管；1、2、3、4、5除排水口外另加一个溶剂回收口。 

PVD镀膜超声波清洗机喷淋方式采用垂直喷淋方式，方便工件取出，喷淋范围可覆盖到所有工件，压力5KG可；不锈钢洗篮架由我司提供。（L270*W370*H220mm） 

第6、7、8、9、10槽均有溢流，由相对洁净程度高的槽向下一槽溢流；

槽体排液管采用易拆方式，并有滤网。

所有溢水方式均采用四周溢水。（锯齿半圆孤状） 

设备底盘采用不锈钢制，门板采用不锈钢门板。 

所有的过滤芯采用折叠式过滤芯，无污染；所有管道安装前必须进行清洁。

PVD镀膜超声波清洗机慢拉自动提升装置，提升速度无极可调。自动程序时，慢速提升，快速下降，也可手动控制。

设备必需运行稳定无振动，方便清洁。

PVD镀膜超声波清洗机特点:

全自动链式提升及抛动机动性,确保提升稳定、抛动均匀；

PVD镀膜超声波清洗机同步夹紧平移式机械，可搬送平稳，内部洁净；

逐级高精度纯水过滤，保证洗液洁净；

逐级高效空气过滤，保证后工序净化空间洁净；

超纯水慢拉脱水，确认表面脱水完全；